聚焦離子束電鏡
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- 更新日期:2023-03-20
- 產品介紹:Thermo Scientific Helios 5 Laser 聚焦離子束電鏡提供了優良的能力,大體積3D分析,Ga-free樣品制備,和精密微加工。
- 廠商性質:代理商
產品介紹
品牌 | FEI/賽默飛 |
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Thermo Scientific™ Helios™ 5 Laser 聚焦離子束電鏡提(ti)供了優良(liang)的能(neng)力,大體(ti)積3D分(fen)析,Ga-free樣(yang)品(pin)制備,和(he)精密微加工。具有創新的,*集成的飛秒(miao)激光(guang)器,它提(ti)供較快的材料去除(chu)率和(he)較高的切割面(mian)質量(liang),是(shi)毫米尺度范(fan)圍(wei)納米分(fen)辨率下較快的高質量(liang)亞表面(mian)和(he)三維表征設備。
☆ 對于(yu)毫米尺度的(de)截面,較(jiao)快(kuai)的(de)材料去除速(su)度比(bi)典型(xing)的(de)Ga + FIB要快(kuai)15,000倍(bei)
☆ 統計相關的亞表面和3D數據分析,在更短的時間內獲得更大的體積
☆ 可重復的切割放置與三束重合在樣品上
☆ 通過提取亞表面TEM薄片或塊快速表征深部特征,用于三維分析
☆ 高通量處理具有挑戰性的材料,如不導電或離子束敏感樣品
☆ 快速和簡單的表征空氣敏感樣品,對于成像和截面制備不需要在不同儀器之間轉移
☆ 包(bao)含Helios 5 PFIB平臺的(de)(de)所(suo)有功能,包(bao)括高(gao)質量的(de)(de)Ga-free TEM和APT樣品制備以及*的(de)(de)高(gao)分(fen)辨率成像能力(li)
Thermo Scientific™ Helios™ 5 Laser 聚焦離子束電鏡參數:
飛秒激光PFIB
大體積:2000×2000×1000μm3
大束流:~1mA(等效于離子束電流)
切割束流:74μA
束斑尺寸:15μm
激光集成:3束(SEM/PFIB/laser)*集成在倉室中,并具有相同的重合點,
實現可重復的切割位置和3D表征。
一次諧波:波長1030納米(紅外),,脈沖持續時間<280fs
二次諧波:波長515納米(綠),脈沖持續時間<300fs
電子光學:
☆ 三束重合點 WD=4mm(與SEM/FIB相同)
☆ 可變物鏡(電動)
☆ 極化:水平/垂直
☆ 脈沖頻率: 1kHz~1MHz
☆ 束流位置精度:<250nm
保護擋板:自動SEM/PFIB保護擋板
軟件:
☆ 激光控制軟件
☆ 激光三維連續切片工作流程
☆ EBSD激光三維連續切片工作流程
☆ 激光編譯
安全性:連(lian)鎖激光器外殼(ke)(一級安全)